A Skytech conseguiu superar os desafios no desenvolvimento de equipamentos semicondutores avançados e desenvolveu um instrumento de camada de deposição atômica (ALD), tornando-se o primeiro fornecedor de equipamentos taiwanês a atingir a “produção em massa” de soluções de filme fino ALD. Com seu equipamento ALD sendo verificado e adotado pela Epistar, a Skytech tem contribuído para os esforços da Epistar para promover aplicações comercializadas deCONDUZIUtecnologias.
Fundada em 2002, a Skytech é uma importante fornecedora de componentes essenciais de semicondutores em Taiwan. Em 2017, a empresa passou a investir no desenvolvimento de equipamentos críticos para a fabricação de dispositivos semicondutores. Atualmente, a Skytech oferece vários aparelhos de auto-desenvolvimento, incluindo uma máquina PVD (NexdaTM), ALD e ferramenta ALD em pó (AtomilaTM), sistema de ligação (Bondela Bonder), sistema de descolamento (Catapulta Debonder), máquina de levantamento a laser e robô wafer (Skiwar).
O CEO da Skytech, Vic Lin, especificou que, com o apoio do Ministério de Assuntos Econômicos de Taiwan, a empresa desenvolveu um conjunto completo de soluções de filme fino ALD para produção de Mini / Micro LED. O equipamento fornecido para Epistar apresenta uma cavidade de reação única e design ajustável de alimentação do precursor; o filme fino ALD fabricado tem excelente uniformidade de revestimento e repetibilidade, resistência desejável de passagem, alta transmitância e baixa dose de precursor.
Quanto ao desenvolvimento de equipamentos de Micro LED mais avançados, Lin indicou que as telas de Micro LED são compostas de pixels menores vermelhos, verdes e azuis, cujo processo de fabricação pode facilmente causar danos à delicada nanoestrutura interna e perdas de intensidade luminosa.
Para resolver o problema, a Skytech está desenvolvendo uma tecnologia de pré-passivação para reparar o dano estrutural durante a fabricação do Micro LED e fazer com que a intensidade luminosa volte ao nível de pré-fabricação ou até mesmo a um nível superior. A Skytech está trabalhando em estreita colaboração com vários fornecedores de LED.
